La barre de la résolution nanométrique est franchie ! Laserscale est une règle ultra-haute résolution qui surpasse tous le

Mesures linéaires et angulaires ultra-haute précision Laserscale

La barre de la résolution nanométrique est franchie ! Laserscale est une règle ultra-haute résolution qui surpasse tous les systèmes à interférométrie lumineuses.

Le système Laserscale permet de réaliser facilement des mesures et des contrôles de déplacement linéaire ou angulaire avec une haute résolution pouvant être inférieure à 1 nm. Une onde périodique (environ 138 nm) est générée par une méthode d'interférence de réseau en utilisant une règle holographique à haute efficacité de diffraction et une tête de lecture à haute résolution. Laserscale offre une excellente immunité à la pression atmosphérique, courants d'air et garantit une distorsion du signal minime avec un rapport S/B élevé. Une résolution de 17 pm peut être obtenue en utilisant l'interpolateur à compensation automatique.

Informations & devis

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Un faisceau laser à semi-conducteur est divisé par un dispositif de séparation en deux faisceaux de lumière polarisée S et P, puis diffracté à travers un réseau holographique volumique à très haut pouvoir de diffraction. Les deux faisceaux diffractés passent à travers des plaques séparées d'un quart de longueur d'onde jusqu'à un miroir, qui réfléchit les faisceaux à travers les plaques. Ce processus convertit le faisceau polarisé S en lumière polarisée P et le faisceau polarisé P en lumière polarisée S. Les deux faisceaux sont à nouveau diffractés à travers le réseau holographique, puis superposés par le séparateur de faisceaux de lumière polarisée pour créer une interférence. Toutes les interférences se propagent alors vers le photodétecteur.

Comme la double diffraction ajoute +2 Kx et -2 Kx aux phases de chaque faisceau, l'interférence est soumise à quatre cycles d'inversion clair-obscur pour chaque incrément de déplacement du réseau. Ainsi, un réseau de pas 0,55 μm produit un signal d'incrément 0,55/4 = environ 0,138 μm. Cette détection optique est insensible aux fluctuations et aux variations de la pression atmosphérique, puisque les trajets optiques des deux rayons laser évoluent de manière identique, même en cas de changement de longueur d'onde ou de source de lumière. Par principe, les erreurs de répétabilité et d’hystérésis ne sont pas possibles.

Ultra-haute résolution

La technologie d'holographie de volume de Laserscale permet d'obtenir un très grand pouvoir de diffraction afin de générer un signal de sortie puissant et un rapport signal/bruit élevé. 

La meilleure résolution : 17 pm !

Un seul incrément de déplacement du réseau holographique au pas de 0,55 μm diffracte le signal sur 4 périodes. Le quart du signal original produit donc un signal d'environ 0,138 μm. En utilisant l'interpolateur du système, ce signal peut atteindre une résolution de 17 pm.

Ultra-haute résolution et réponse ultra rapide

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Utilisation
Intégration, OEM, IoT
R&D, Essais, Qualité
Grandeur mesurée
Position angulaire / Rotation
Position linéaire / Déplacement
Technologie
Interferométrie laser
Applications
Robotique, Machines Spéciales

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